Вакуумное кластерное оборудование PICOPLATFORM
ссылка на файл:
Вакуумные кластеры Picosun PICOPLATFORM сочетают в себе уникальную масштабируемость и модульность всех систем АСОPICOSUN™ с полностью автоматизированными решениями для крупно-серийного производства и высочайшим уровнем качества процессов.
Системы PICOPLATFORM™ включают в себя несколько реакционных камер АСО, интегрированных с центральным вакуумным роботизированным загрузчиком и модулем управления для загрузки/разгрузки пластин без развакуумирования. Система может быть расширена в любое время путем интеграции с другими процессными модулями, такими как модулями предварительной/пост-обработки и другими модулями осаждения. Система загрузки пластин PICOPLATFORM™ 200 основана на вакуумном роботизированном модуле Brooks MX400™ или MX700™. Кластерная система PICOPLATFORM™ 200 состоит из PICOSUN™ P-200 Pro (или PICOSUN™ R-200 Advanced), а также других опциональных процессных модулей. Совместима со стандартом SEMI S2 для автоматизированной загрузки пластин 200 мм, а также она может быть использована для перегрузки пластин 100/200 мм.