PICOSUN P-1000
Оборудование для осаждения тонких пленок по технологии атомно-слоевого осаждения (АСО)
Система PICOSUN™ P-1000 разработана для покрытия партий различных 3D-объектов, таких как механические детали, стеклянные или металлические листы, монеты, ювелирные украшения или медицинские импланты.
Система PICOSUN™ P-1000 разработана специально для групповой обработки различных трехмерных объектов, таких как механические детали, стеклянные или металлические листы, монеты, ювелирные изделия или медицинские импланты в промышленных условиях. К основным сферам применения относится создание различного рода пассивирующих и барьерных слоев для существенного улучшения свойств и продления срока службы покрываемых элементов. Система PICOSUN™ P-1000 отличается инновационной и гибкой конструкцией, которая позволяет наносить покрытия ALD наивысшего качества с великолепной однородностью, максимальным выходом готовой продукции, минимальным простоем системы и низкими эксплуатационными затратами с применением проверенных в производстве процессов.
Надежная, быстродействующая и простая в обслуживании система PICOSUN™ P-1000 — новейшее слово в мире промышленного применения ALD.
Технические характеристики
Размер и тип стандартной подложки
- Мелкие и крупные 3D-объекты (например, механические детали, стеклянные или металлические листы, монеты, ювелирные изделия, медицинские импланты)
Температура обработки
- 50 – 400°C
Стандартные технологические процессы
- Al2O3, ZnO, TiO2
Загрузка подложки
- Ручная загрузка с помощью загрузочных приспособлений (например, вилочной погрузочной тележки)
Прекурсоры
- Жидкостные, твердые вещества, газ, озон
- Датчики уровня, функции очистки и заправки
- До 10 источников с 6 отдельными вводами