Система PICOSUN™ P-300BV разработана специально для производства светодиодов, цифровых устройств и микроэлектромеханических систем, например печатающих головок, датчиков и микрофонов.
Системы ALD PICOSUN™ P-300 стали новым стандартом крупномасштабного производства ALD. Благодаря интегрированию нашей запатентованной конструкции с горячими стенками и полностью раздельными вводами мы можем создавать пленки ALD наивысшего качества с высоким выходом готовой продукции, низким уровнем постпроцессных частиц и великолепными электрическими и оптическими характеристиками. Гибкая конструкция, а также простое и быстрое техническое обслуживание обеспечивает минимальный простой производственных линий и самые низкие эксплуатационные затраты на рынке. Наша собственная технология улучшения диффузии Picoflow™ позволяет производить конформные покрытия даже на исключительно непропорциональных подложках с помощью проверенных в производстве технологических процессов.
Система PICOSUN™ P-300BV — новейшее слово в мире промышленного применения ALD. Система предназначена для полуавтоматической обработки партий пластин. Устройство оптимизировано для быстрого изготовления партий и может быть интегрировано в систему автоматизации предприятия с помощью протокола SECS/GEM. Вакуумная система загрузки с возможностью обогрева обеспечивает чистую обработку чувствительных подложек и осаждение таких материалов, как нитриды металлов.
Систему ALD PICOSUN™ P-300BV выбирают заказчики, стремящиеся к инновациям в производстве.
Размер и тип стандартной подложки
Температура обработки
Стандартные технологические процессы
Загрузка подложки
Прекурсоры