PICOSUN P-300B

Оборудование для осаждения тонких пленок по технологии атомно-слоевого осаждения (АСО)

Система PICOSUN™P-300B разработана специально для производства микроэлектромеханических систем, например печатающих головок, датчиков и микрофонов, и нанесения покрытия на 3D-объекты, такие как объективы, линзы, механические детали, ювелирные украшения, монеты и медицинские импланты.

Системы ALD PICOSUN™ P-300 стали новым стандартом крупномасштабного производства ALD. Благодаря интегрированию нашей запатентованной конструкции с горячими стенками и полностью раздельными вводами мы можем создавать пленки ALD наивысшего качества с высоким выходом готовой продукции, низким уровнем постпроцессных частиц и великолепными электрическими и оптическими характеристиками. Гибкая конструкция, а также простое и быстрое техническое обслуживание обеспечивает минимальный простой производственных линий и самые низкие эксплуатационные затраты на рынке. Наша собственная технология улучшения диффузии Picoflow™ позволяет производить конформные покрытия даже на исключительно непропорциональных подложках с помощью проверенных в производстве технологических процессов.

Система PICOSUN™ P-300B разработана специально для групповой обработки микроэлектромеханических систем и трехмерных компонентов. Система отличается высокой скоростью работы, надежностью и исключительной простотой технического обслуживания.

Технические характеристики

Размер и тип стандартной подложки

Пластины 200 мм в кассетах по 25 шт. (стандартный шаг)
Пластины 150 мм в кассетах по 50 шт. (стандартный шаг)
Пластины 100 мм в кассетах по 75 шт. (стандартный шаг)
Подложки, отличные от пластин (специализированные держатели)
Образцы с большим аспектным отношением (до 1:2500)

Температура обработки

50 – 500°C

Стандартные технологические процессы

Длительность кассетной обработки может составлять менее 10 с
Al₂O₃, SiO₂, Ta₂O₅, HfO₂, ZnO, TiO₂, ZrO₂, AlN, TiN и металлы
Неоднородность покрытия в пределах кассеты < 1 % 1σ (Al₂O₃, WIW, WTW, B2B, 49 точек, EE 5 мм)

Загрузка подложки

Ручная загрузка с помощью пневматического подъемника
Линейная полуавтоматическая загрузка
Загрузка с помощью промышленного робота

Прекурсоры

Жидкостные, твердые вещества, газ, озон
Датчики уровня, функции очистки и заправки
До 8 источников с 4 отдельными вводами