Технологическая линия прототипирования

Проект технологической линии прототипирования и мелкосерийного производства СБИС уровня 90-65 нм, интегрируемой с производством фотошаблонов того же уровня. Суть проекта состоит в создании на сравнительно небольшой площади (1000-1400 м2) модульно-кластерной производственной линейки, реализующей практически полную технологическую цепочку выпуска современной электронной компонентной базы по КМОП-технологии уровня 90-65 нм. Планируется, что данная линия сможет производить электронные компоненты малыми сериями — от 10 до 25 300-мм пластин в партии.

Как известно, даже сейчас, несмотря на бурное развитие вычислительной техники и программных средств моделирования, технологические и схемотехнические модели вовсе не дают стопроцентной гарантии того, что изготовленная схема будет работать согласно заложенным в проект требованиям. Часто случается, что допущенная схемотехническая, топологическая или технологическая ошибка обнаруживается только тогда, когда микросхема уже выпускается крупным тиражом. Это приводит к необходимости останавливать выпуск изделия и отзывать реализованную продукцию, переделывая в некоторых случаях, как минимум, несколько фотошаблонов из комплекта, видоизменяя технологический процесс и теряя при этом большое количество времени и денег. Поэтому основной коммерческой задачей линии является мелкосерийное производство интегральных схем на окончательной стадии их разработки – прототипирование изделий микроэлектроники. Другой задачей линии может стать экспериментальная отработка и усовершенствование технологических процессов производства новых видов изделий. В связи с этим, важной особенностью разрабатываемой линии является использование в комплекте метрологического оборудования ионно-лучевых установок, позволяющих производить быстрый автоматизированный анализ качества наносимых слоев, выявлять скрытые дефекты сформированных на пластине структур, обусловленные ошибками в технологическом процессе и недоступные для выявления традиционными методами анализа.

Автор проекта: ФГУП «ВО «Внештехника»