АСО для пластин 300 мм для экологически чистой мощной электроники

Picosun Oy, ведущий поставщик технологии атомно-слоевого осаждения (АСО) для глобальных производств, развивает партнерство с STMicroelectronics S.R.L. для разработки нового поколения 300-миллиметровых производственных решений для современной силовой электроники.

В рамках финансируемого проекта R3-POWERUP оборудование Picosun PICOPLATFORM™ 300 будет оптимизировано и проверено на 300-мм производстве силовых электронных компонентов. Сертифицированное SEMI S2 кластерное оборудование PICOPLATFORM™ 300 состоит из двух модулей АСО PICOSUN ™ P-300S: первый предназначен для синтеза пленок оксидов диэлектриков и второй для нитридов. Модули соединены вместе и работают под постоянным вакуумом посредством центрального модуля обработки пластин вакуумного робота. Модули АСО оснащены фирменной функцией Picoflow ™ от Picosun, которая позволяет создавать конформные покрытия АСО на структурах с высокими аспектными отношениями до 1:2500 и даже выше. Загрузка подложек осуществляется с помощью модуля EFEM с портами FOUP. Полностью автоматизированное кластерное оборудование может быть интегрировано в производственную линию и подключено к заводскому хосту через интерфейс SECS / GEM.

«Наше кластерное оборудование PICOPLATFORM™ 300 уже показало свою силу в обычных приложениях ИС, поэтому расширение до силовых полупроводников является естественным. Мы очень рады работать с такой компанией, как STMicroelectronics, чтобы адаптировать и утвердить наши 300-миллиметровые производственные решения для АСО для этого быстро растущего рынка. Это также прекрасная возможность как для внесения вклада в будущее европейской полупроводниковой промышленности, так и для использования АСО с целью предоставления технологических решений для глобальных экологических и социальных проблем, таких как изменение климата и истощение природных ресурсов», — резюмирует Юхана Костамо, управляющий директор Picosun.