Инновационный генератор плазмы Picosun PICOPLASMA™ для проведения процессов плазменно-стимулированного АСО (ПАСО) основан на настраиваемом, высоко-технологичном удаленном источнике индуктивно-связанной плазмы (ИСП). С помощью генератора ИСП, как показали исследования ключевых клиентов Picosun, становится возможным проводить осаждения различных материалов при низких температурах. Для расширения процессной химии с помощью генератора возможно получать возбужденные частицы кислорода, азота и радикалов водорода. Из-за низкой концентрации ионов, удаленный источник плазмы позволяет обрабатывать даже самые чувствительные образцы без их разрушения плазмой, но при этом сохраняется плотный поток радикалов.
Источник плазмы PICOPLASMA™ может быть смонтирован на существующее оборудование PICOSUN™, а также клиенты могут приобрести целиком оборудование для ПАСО. Данное оборудование занимает небольшую площадь, обладает легкостью в обслуживании и имеет низкие эксплуатационные издержки. Система также может быть полностью автоматизирована путем включения ее в кластерные системы PICOPLATFORM™.